掃描電鏡的全稱是掃描電子顯微鏡，它可以用來觀察被檢測物體的細微之處、成像，這一點和顯微鏡有相似之處。SEM掃描電鏡是通過電子束掃描被檢測物品的表面進而產生被檢測物品表面的圖像。

掃描電鏡有一個電子發射槍，從槍中會發射出加速、聚焦過的電子，在用這些電子來撞擊樣品。樣品在受到撞擊后會產生如同水波一般的信號，另一個接收器會用來接收這些信號。這些信號有許多不同的種類，不同的信號有不同的用途，可以對樣品多個方面的表現進行檢測。因此，SEM掃描電鏡除了可以成像外，還可以用來分析樣品的成分形貌，對樣品的元素進行分析。

掃描電鏡的分辨率比顯微鏡的分辨率高得多，能夠將物品放大20萬倍。SEM掃描電鏡的視野廣闊，其形成的圖像有很強的立體感，可以觀察到凹凸不平的細微結構。

目前研制出的掃描電鏡種類有很多，按照結構和用途進行劃分的話大概有6種，其中包括常見的典型掃描電鏡、還有掃描透射電鏡、場發射掃描電鏡、冷凍掃描電鏡、掃描隧道電鏡、原子力顯微鏡等。

隨著科技的不斷發展，掃描電鏡的研制技術也在不斷進步，越來越多的人了解到SEM掃描電鏡，其已經從高等級的研究發展變成了被廣泛使用的測試手段，應用范圍涉及到各行各業，其中包括生命科學、材料科學、食品科學、化學、電子學等學科，還運用到了陶瓷行業、化工行業、半導體行業等生產部門。

掃描電鏡功能強大，在使用時要仔細按照使用方法操作，要牢記使用注意事項：

1、 SEM掃描電鏡的樣本B須要很薄，樣品太厚在圖像中會顯得比較暗，圖像對比不明顯，成像立體感就不會很強。

2、 掃描電鏡不顯示圖像時，先要檢查高真空指示燈是否亮，真空正常時再去判斷顯示和放大電路是否正常，再接著檢查光電倍增管，如果都是正常的，就只需要檢查和鏡筒有關電路即可。

3、 倍率偏移情況出現時，容易帶來圖像的不穩定，發生此項故障大都是電氣線路上的問題，對此進行排查處理即可。

4、SEM掃描電鏡對被檢測樣品的處理要求比較嚴格：被檢測樣品一定要有干凈的表面；被檢測樣品整體B須徹底干燥；標記物品的標記物一定要有形狀以便識別。

掃描電鏡的使用過程雖然比較繁瑣，并且在使用過程中由于使用器件質量的差異、環境的異同等可能會產生許多故障，但只要按照使用方法進行分析，能夠比較快地進行處理。