掃描電鏡對樣品微區結構的觀察和分析具有簡單、易行等特點 ，是目前應用得*為廣泛的一種試樣表征方式，它相比于光學顯微鏡和透射電鏡有其特有的優勢。

1、景深長，視野大

SEM掃描電鏡物鏡使用小孔視角和長焦距因而景深較大。 相同放大倍數時掃描電鏡景深比透射電鏡大且比光學顯微鏡大很多。 SEM掃描電鏡中二次電子的產生量和電于束入射角度在試樣表面上的漲落有一定關系，因此，掃描電鏡成像立體感較強，可以用來觀察試樣三維立體結構。

2、樣品制備

簡單SEM掃描電鏡的樣品室較大，可觀察大到200毫米，高為幾十毫米的樣品。掃描電鏡的樣品制備相比透射電鏡而言要簡單得多 ，樣品可以是斷口，塊體，粉體等。對于導電的樣品只要大小合適即可直接觀察，對于不導電的樣品需在樣品表面噴鍍一層導電膜（ 通常為金、鉑或碳）后進行觀察。現代發展起來的低壓SEM掃描電鏡和環境掃描電鏡可以對不導電樣品，生物樣品等進行直接觀察，極大地擴展了掃描電鏡的應用范圍。

3、分辨本領高，倍率連續可調

SEM掃描電鏡具有很高的分辨率 ，普通掃描電鏡的分辨率為幾納米，場發射掃描電鏡的分辨率可達1nm ，已十分接近透射電鏡的水平。光學顯微鏡只能在低倍率下使用，而透射電鏡只能在高倍率下使用，SEM掃描電鏡可以在幾倍到幾十萬倍的范圍內連續可調，彌補了從光學顯微鏡到透射電鏡觀察的一個很大的跨度，實現了對樣品從宏觀到微觀的觀察和分析。

4、綜合分析能力強

掃描電鏡可以對樣品進行旋轉，傾斜等操作，能對樣品的各個部位進行觀察 。此外，SEM掃描電鏡可以安裝不同的檢測器（如能譜儀（EDS），波譜儀（WDS）以及電子背散射衍射（EBSD）等）來接收不同的信號，以便對樣品微區的成分和晶體取向等特性進行表征。此外，還能在掃描電鏡中配置相應附件，對樣品進行加熱，冷卻，拉伸等操作并對該動態過程中發生的變化進行實時觀察。