臺式掃描電鏡由電子光學系統、信號收集及顯示系統、真空系統及電源系統組成。

電子光學系統：電子光學系統由電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室等部件組成。其作用是用來獲得掃描電子束，作為使樣品產生各種物理信號的激發源。

電子槍：其作用是利用陰極與陽極燈絲間的高壓產生高能量的電子束。

電磁透鏡：其作用是把電子槍的束斑逐漸聚焦縮小，使原來直徑約50um的束斑縮小成一個只有數nm的細小束斑。

掃描線圈：其作用使電子束進入末級透鏡強磁場區前就發生偏轉。

臺式掃描電鏡的試樣準備：

在SEM掃描電鏡中檢測的試樣，其準備工作十分簡便。對導電體試樣，可以不做任何預處理，只要其大小形狀適合試樣室，即可置入儀器試樣室檢測。對非導電體試樣，則在置入試樣室前，要在真空鍍膜機中對其待測表面噴鍍一薄層導電物質，常用的是金或碳。

為了觀察到復合材料界面區的二次電子像，應用某種方法將材料的界面區域暴露于試樣表面。例如：

將纖維增強復合材料中的纖維拉出，暴露出纖維表面和原先與纖維相結合的基體表面，這是受到或多或少損壞的界面。

另一個常用的方法是對復合材料施力，使其沿設定的方向斷裂。對脆性材料，可在常溫下實施；而對韌性復合材料，可用冷凍斷裂法，在液氮溫度下將材料脆性斷裂，暴露出包含基體、增強體和界面的區域。

還有一種方法是將暴露了界面區的端面或斷裂面，在超薄切片機上用金剛石刀或玻璃刀切平。

亦或者磨平拋光，隨后使用蝕刻法，使試樣端面結構不同或成分不同的區域有著不同程度的蝕刻，形成形貌上的差異。