掃描電鏡是介于透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像。

SEM 掃描電鏡的優點：

①有較高的放大倍數，20-200000倍之間連續可調；

②有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結構；

③試樣制備簡單，目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置，這樣可以同時進行顯微組織形貌的觀察和微區成分分析（即SEM-EDS），因此它是當今十分重要的科學研究儀器之一。

SEM掃描電鏡的組成及原理：

掃描電子顯微鏡由電子光學系統，信號收集及顯示系統，真空系統及電源系統組成。從原理上講就是利用聚焦得非常細的高能電子束在試樣上掃描，激發出各種物理信息。通過對這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測試試樣表面形貌的觀察。

當一束極細的高能入射電子轟擊掃描樣品表面時，被激發的區域將產生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續譜X射線、背散射電子、透射電子，以及在可見、紫外、紅外光區域產生的電磁輻射。同時可產生電子-空穴對、晶格振動（聲子)、電子振蕩（等離子體）。

掃描電鏡的應用范圍：

1. 生物：種子、花粉、細菌……

2. 醫學：血球、病毒……

3. 動物：大腸、絨毛、細胞、纖維……

4. 材料：陶瓷、高分子、粉末、金屬、金屬夾雜物、環氧樹脂……

5. 化學、物理、地質、冶金、礦物、污泥（桿菌） 、機械、電機及導電性樣品，如半導體(IC、線寬量測、斷面、結構觀察……）電子材料等

6. 新型陶瓷材料分析等