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SEM掃描電子顯微鏡組成部分的介紹
日期：2023-03-24 14:08:33 瀏覽次數：163
電子光學系統：
組成：電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室等部件。
作用：獲得掃描電子束、作為產生物理信號的激發源。
信號收集和顯示系統：
信號收集：二次電子和背散射電子收集器、吸收電子顯示器、X射線檢測器（波譜儀和能譜儀）
顯示系統：顯示屏有兩個，一個用于觀察，一個用于記錄照相。
真空系統：
組成：機械泵、擴散泵
作用：保證電子光學系統正常工作，提供高真空度，防止樣品污染，保持燈絲壽命，防止極間放電。
電源系統：
包括啟動的各種電源，檢測-放大系統電源，光電倍增管電源，真空系統和成像系統電源燈。還有穩壓、穩流及相應的安全保護電路。
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