掃描電鏡圖像的襯度是信號襯度，它可定義為：根據形成的依據，SEM掃描電鏡的襯度可分為形貌襯度，原子序數襯度和電壓襯度。

掃描電鏡形貌襯度是由于試樣表面形貌差異而形成的襯度。利用對試樣表面形貌變化敏感的物理信號如二次電子、背散射電子等作為顯象管的調制信號，可以得到形貌襯度像。其強度是試樣表面傾角的函數。而試樣表面微區形貌差別實際上就是各微區表面相對于入射束的傾角不同，因此電子束在試樣上掃描時任何二點的形貌差別，表現為信號強度的差別，從而在圖像中形成顯示形貌的襯度。二次電子像的襯度是SEM掃描電鏡Z典型的形貌襯度。

掃描電鏡原子序數襯度是由于試樣表面物質原子序數(或化學成分)差別而形成的襯度。利用對試樣表面原子序數(或化學成分)變化敏感的物理信號作為顯像管的調制信號，可以得到原子序數襯度圖像。背散射電子像、吸收電子像的襯度，都包含有原子序數襯度，而特征X射線像的襯度是原子序數襯度。現以背散射電子為例，說明原子序數襯度形成原理。對于表面光滑無形貌特征的厚試樣，當試樣由單一元素構成時，則電子束掃描到試樣上各點時產生的信號強度是一致的。得到的像中不存在襯度。當試樣由原子序數不同的元素構成時，則在不同的元素上方產生不同的信號強度，因此也就產生襯度。

SEM掃描電鏡電壓襯度是由于試樣表面電位差別而形成的襯度。利用對試樣表面電位狀態敏感的信號，如二次電子，作為顯像管的調制信號，可得到電壓襯度像。