現如今，大量的科學研究和高質量的工業分析都離不開精密儀器和設備，精密儀器被稱為是“科學研究的先行官、工業生產的倍增器”。

但越精密的儀器對場地環境的要求越嚴格，儀器在不符合要求的場地下運行導致無法獲得有用的實驗數據甚至出現運行異常，這已經不是新鮮事了。精密儀器在合格的場地環境下運行才能真正體現其價值，為科研工作提供助力。

掃描電子顯微鏡是很重要的微觀觀測工具，分辨率可達零點幾個納米，是非常精密的科學儀器設備，應用十分廣泛。而掃描電子顯微鏡對于場地環境的要求主要是在震動、磁場和噪音等方面，這些指標在設備安裝前，都需要由廠家的工程師攜帶專業的場地量測工具前往客戶現場進行測量，判斷場地是否合格并給出測量報告。如果不合格，則要更換場地或是對場地進行整改。

下面我們就把場地環境之震動和磁干擾對掃描電鏡產生影響一一進行詳細說明，希望能夠幫助大家更好地理解并有效防范。

①震動的影響

對于掃描電鏡來說，外界震動會造成在電子束下落過程中，樣品相對電子束發生位移，從而使得電子束轟擊位置出現錯位，掃描電鏡圖像上會出現鋸齒或抖動。由于掃描電子顯微鏡觀測倍率高，微小的震動也會影響使用。

因此，掃描電鏡都內置了減振裝置，使得鏡筒、樣品室不與地面硬性相連。根據減振方式的不同，減振裝置可以分為被動式減振和主動式減振兩種。主動式減振對于常見的低頻震動減除效果優于被動式減振，所以高質量的掃描電子顯微鏡一般會配置主動減振。

如果外界震動過強，即使配置了減振裝置，也無法完全消除環境震動對于掃描電鏡的影響。因此，在通常情況下，需要盡量符合以下條件以保證振動環境滿足安裝要求：

1. 實驗室設在沒有地下室或地下車庫的一樓；

2. 場地不靠近車流頻繁的馬路；

3. 附近沒有安裝類似拉伸試驗機等設備。

②磁干擾的影響

磁干擾是指由電場、磁場及射頻等產生的輻射信號源，對儀器設備尤其是精度較高的儀器設備而言，會產生不利影響。

磁場產生的原因很多，手機的基站、實驗室內布線不合理的電線、不合適的照明燈、附近其它的大型設備，甚至運行中的電梯都會產生磁場干擾，而這些都是我們要盡力避免的。

如果掃描電子顯微鏡安裝在有強雜散磁場的環境中，電子束將被該磁場強制抖動，引起成像時異常的放大、收縮、扭曲、飄移或針狀噪聲。

因此，在掃描電鏡設計中，為避免電源的干擾，捕捉圖像的掃描模式與電源頻率同步，盡可能減小了同步磁場產生的干擾。當有與電源頻率同步的雜散磁場（交流磁場）超標時，引起的干擾通常表現為圖像的扭曲、膨脹或者收縮。

當有與電源頻率不同步的雜散磁場（例如直流磁場）存在時，引起的干擾通常表現為圖像的漂移或為針狀噪聲。