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SEM掃描電鏡對于樣品的要求與以及制樣方法介紹

日期:2025-01-08 09:43:42 瀏覽次數:402

掃描電鏡對于樣品的要求以及制樣方法十分重要,它們直接影響到掃描電鏡的成像質量和分析結果的準確性。以下是對SEM掃描電鏡樣品要求及制樣方法的詳細介紹:

一、掃描電鏡對樣品的要求

樣品B須能夠承受高真空環境:

樣品中不能含有水分或揮發性物質,否則會影響真空度和電子束的穩定性,甚至損壞儀器。

掃描電鏡.jpg

樣品B須具有一定的導電性:

樣品能夠將電子束引入樣品并將多余的電荷導出,否則會造成樣品的荷電效應,導致圖像失真或模糊。對于不導電的樣品,通常需要在其表面鍍一層導電膜,如金或碳。

樣品的尺寸和形狀要求:

樣品的尺寸B須適合放入SEM掃描電鏡的樣品室中,一般不超過一定尺寸限制(如10cm×10cm×5cm)。同時,樣品的表面要盡可能平整,以便進行電子束的聚焦和掃描。

二、掃描電鏡的制樣方法

SEM掃描電鏡的制樣方法包括多個步驟,具體取決于樣品的類型和性質。以下是一些常見的制樣方法:

塊狀樣品的制樣方法:

小塊樣品:可以直接用導電膠或導電膠帶將其粘貼在樣品臺上。

大塊樣品:需要切割成適當的大小,并使用導電膠或導電漿液進行固定。對于需要高分辨率觀測的樣品,還可以在固定后再在其四周刷上導電膠以增強導電性。

粉末樣品的制樣方法:

常規粉末:可以直接用牙簽挑起后彈在導電膠帶上,然后用洗耳球或壓縮空氣等吹掉浮粉。如果樣品量少或需要做能譜分析,可以重復多次上述步驟。

大顆粒或不導電粉末:可以將液態的導電膠刷在樣品臺上,然后將粉末撒在其上,再用洗耳球或壓縮空氣等吹掉浮粉。

易團聚的粉末:需要先將其分散在適當的溶劑中,如無水乙醇,然后進行超聲處理。處理后將溶液滴在導電膠或硅片上,并放置在烘箱或紅外烤燈下烘干。

薄膜或片狀樣品的制樣方法:

可以用導電膠將其粘貼在樣品臺上,并標明測試面。如果需要測試截面,則需要自備或明確截面制備方法。

液體樣品的制樣方法:

可以根據實驗室條件選擇將其滴在硅片、鋁箔或導電膠上。在滴樣前需要確保溶劑和溶液不會反應,并且溶液能夠干燥。對于不易干燥的樣品,需要說明干燥條件并選擇合適的基底。

特殊樣品的制樣方法:

對于如混凝土、珊瑚沙、氣凝膠等需要抽真空時間長的樣品,需要控制其尺寸在較小的范圍內(如直徑≤5mm,厚度≤5mm)。

對于脆斷樣品,需要確保其尺寸足夠大(如尺寸≥2×2cm,厚度<0.5cm)以便進行觀測。

三、制樣過程中的注意事項

避免污染:在整個制樣過程中,應避免樣品受到污染,特別是防止空氣中灰塵的污染。

小心操作:在每個步驟中都要小心操作,避免對樣品結構造成破壞。特別是在進行切割、研磨和拋光等步驟時,需要控制好力度和速度。

記錄信息:記錄每一步驟的詳細信息,以便在出現問題時進行追溯和分析。

綜上所述,掃描電鏡對于樣品的要求和制樣方法十分嚴格和復雜。只有按照正確的步驟和方法進行制樣,才能獲得高質量的SEM掃描電鏡圖像和準確的分析結果。

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