掃描電鏡分析制樣時產生的影響因素，具體有下述內容：

 1.試樣磨制影響

 在掃描電鏡前有時會先對裂紋樣品進行高倍金相檢驗，因為經過磨樣，磨制過程當中砂輪、砂紙顆粒還有研磨輔料等會殘留在裂紋內，不容易被清除。如用超聲波清洗，超聲波的分散作用會把樣品上的污染物聚集到裂紋處，影響樣品分析，所以要區分開殘留物還有夾雜物，正確的分析缺陷產生原因。對于存在裂紋的樣品，假如樣品的尺寸允許，制成斷口樣進行電鏡分析。

2.生產工藝影響

 對掃描電鏡檢測，機械零部件在生產的每個環節都有不確定因素影響。首先要了解生產工藝過程，比方說拉拔過程的磷皂化膜、鐓鍛、機加工工序等使用的冷卻液，熱處理淬火冷卻介質等等，它們的成分會影響缺陷樣品的分析結果。

 3.取樣標記影響

 大多數取料的時候，為標識清楚會用白色或黑色油性記號筆做標記，標記如標識到缺陷面上，超聲波清洗很難徹底清洗干凈，如對記號筆的成分不了解，也許會讓分析人員做出錯誤的判斷。這要求取樣者在取樣的時候注意保持樣品原狀，不破環樣品的觀察面，方便進行分析，現場用白色記號筆的成分以氧化硅還有氧化鎂為主，黑色油性記號筆的成分主要以碳為主，而且含有少量的鋅元素。當分析發現有此類元素的時候，要尤其予以注意還有區分。