掃描電鏡是一種多功能的儀器、具有很多優(yōu)越的性能、是用途很廣泛的一種儀器，它可以應(yīng)用于很多領(lǐng)域中。下面介紹下掃描電鏡在下面3個(gè)領(lǐng)域中的應(yīng)用。

①掃描電鏡在材料研究中的應(yīng)用：掃描電鏡材料的組織形貌觀察、層表面形貌分析和深度檢測(cè)、區(qū)化學(xué)成分分析和微組織及超微尺寸材料的研究 。例如：掃描電鏡在新型陶瓷材料顯微分析中的應(yīng)用。在陶瓷的制備過程中，進(jìn)行顯微結(jié)構(gòu)的分析，原始材料及其制品的顯微形貌、孔隙大小、晶界和團(tuán)聚程度等將決定其更后的性能。掃描電鏡可以清楚地反映和記錄這些微觀特征 ，是觀察分析樣品微觀結(jié)構(gòu)方便、易行的有效方法 ，樣品無需制備 ，只需直接放入樣品室內(nèi)即可放大觀察；同時(shí)掃描電鏡可以實(shí)現(xiàn)試樣從低倍到高倍的定位分析 ，在樣品室中的試樣不僅可以沿三維空間移動(dòng) ，還能夠根據(jù)觀察需要進(jìn)行空間轉(zhuǎn)動(dòng) ，以利于使用者對(duì)感興趣的部位進(jìn)行連續(xù)、系統(tǒng)的觀察分析。

②掃描電鏡在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域應(yīng)用：在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域可以利用高性能的電子顯微鏡觀察細(xì)胞中各種正常的和病理的超微結(jié)構(gòu)，諸如內(nèi)質(zhì)網(wǎng)、線粒體、高爾基體、溶酶體、細(xì)胞骨架系統(tǒng)等，對(duì)探明病因和治療疾病有很大幫助。可以研究細(xì)胞的通訊與運(yùn)輸、分裂與分化、增殖與調(diào)控等生命活動(dòng)的規(guī)律， 電子顯微鏡也可結(jié)合各種制樣技術(shù)觀察病毒、細(xì)菌、支原體、生物大分子等的超微結(jié)構(gòu)，是現(xiàn)代生物醫(yī)學(xué)研究不可替代的工具。例如：wilson病是一種先天的代謝性疾病， 線粒體在早期的病理變化對(duì)病理診斷是非常有價(jià)值的。在軟組織系統(tǒng)疾病診斷中，Kyriacou等認(rèn)為電鏡對(duì)3種主要類型肌病的診斷很有用：空泡性肌病；代謝性肌病；先天性肌病。這些疾病中大約15%～20%的肌肉活檢需要進(jìn)一步應(yīng)用電鏡檢查資料作為更終診斷的前提。

③掃描電鏡與其他設(shè)備的組合以實(shí)現(xiàn)多種分析，目前掃描電鏡的更主要組合分析功能有：

X射線顯微分析系統(tǒng)：(即能譜儀， EDS)，主要用于元素的定性和定量分析 ，并可分析樣品微區(qū)的化學(xué)成分等信息。

電子背散射系統(tǒng) (即結(jié)晶學(xué)分析系統(tǒng))，主要用于晶體和礦物的研究。隨著現(xiàn)代技術(shù)的發(fā)展 ，其他一些掃描電鏡組合分析功能也相繼出現(xiàn)， 例如顯微熱臺(tái)和冷臺(tái)系統(tǒng) ，主要用于觀察和分析材料在加熱和冷凍過程中微觀結(jié)構(gòu)上的變化。

拉伸臺(tái)系統(tǒng)：主要用于觀察和分析材料在受力過程中所發(fā)生的微觀結(jié)構(gòu)變化。掃描電鏡與其他設(shè)備組合而具有的新型分析功能為新材料、新工藝的探索和研究起到重要作用。